勻膠機(Spin coater),又稱旋涂儀、甩膠機或均膠機,是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備,它的原理是利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。
勻膠機是科研工作中制備薄膜材料重要的方法之一,是納米材料、鋰離子電池、半導體制備等領(lǐng)域的研究中的常用設備。勻膠機最重要的特征就是均一性和重復性。均一性就是要求勻膠機制備出的薄膜厚度均一,薄膜的厚度通常可以采用橢偏儀等精密儀器測量;重復性就是要求在不同時間,采用相同的工藝制備的薄膜特性具有可重復性,這就要求電機轉(zhuǎn)速具有精確的控制。除此之外,設備的內(nèi)腔、管道、外殼是否具有耐腐蝕性能?操作界面是否人性化且方便用戶使用?設備內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否能有效防止意外堵膠?是否具備可擴展功能?這些都是衡量一臺勻膠機設備好壞的標準。
目前,市場上一些品牌的勻膠機只是簡單具備勻膠功能,不能稱之為合格的勻膠機設備。比如,有的勻膠機還采用旋鈕的方式控制轉(zhuǎn)速,無法實現(xiàn)精確控制;有的勻膠機采用PP材質(zhì)注塑內(nèi)腔,或者以金屬材質(zhì)作為旋涂內(nèi)腔,這些材質(zhì)容易與膠液發(fā)生反應,不容易清潔;有的勻膠機不含防堵膠裝置,當發(fā)生意外堵膠的時候,往往維修困難等等,因此用戶在選購勻膠機時,一定要留意這些細節(jié)。
以赫里科特公司生產(chǎn)的勻膠機為例,全系列產(chǎn)品均采用觸摸屏加高級PLC程序控制系統(tǒng),可編程分步運行,精確控制,方便易用;內(nèi)腔采用耐腐蝕HDPE材質(zhì),采用CNC一體化加工成型,內(nèi)腔內(nèi)壁呈凹面,有效防止膠液回濺,避免回濺顆粒影響成膜質(zhì)量,這與采用PP材質(zhì)注塑內(nèi)腔或金屬盆內(nèi)腔有明顯優(yōu)勢;因應酸堿等腐蝕性環(huán)境,赫里科特(Helicoater)全系勻膠機設備均采用不銹鋼外殼,堅固耐用;內(nèi)部結(jié)構(gòu)專門設計有儲液腔,有效防止意外吸膠導致器件損壞,方便維修,延長使用壽命;帶有真空安全檢測和蓋子安全檢測裝置;考慮到有時需要自動點膠裝置,部分型號還帶有可升級自動點膠的接口,滿足升級需求;如果需要放置在手套箱內(nèi)使用,可以選擇緊湊型設計的型號;如果有大尺寸樣品旋涂,可以選擇大尺寸型號。
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